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活泼金属靶材

稀土金属和合金,金属钛和钛合金等。

※ La,Ce,Sm,Sc,Sc-Al,Y,Sm2Co17,SmFe2,Nd2Fe14B,Tb0.3Dy0.7Fe2,Gd-1.5Si-23.5Ge,等靶材;

※ 硅(Si)和硅合金靶材;

※ Ti,Ti-6Al-4V,Ti-40A,Ti-50Al,Ti-50Ag,Ti-30Si,Ti-10Sn,Ti-6Al-ScNbMoSnZrCrY,等





Ti
Ti、Ti-50Al和Ti-30Si
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